FEI 公司

扫描电子显微镜 (SEM)

FEI 推出的多功能、高性能扫描电子显微镜 (SEM) 共有四大系列，其中之一就是拥有世界最高分辨率 (XHR) 的扫描电子显微镜，即 Magellan XHR 扫描电子显微镜，这是一部可以在不同角度和在1-30kv范围内用小于一纳米分辨率进行三维表面成像的仪器。

FEI SEM 产品概览

SEM 仪器

• Magellan™ XHR SEM
• Nova NanoSEM™ 扫描电子显微镜
• Quanta™ SEM
• Inspect™ SEM

透射电子显微镜 (TEM)

FEI 透射电子显微镜 (TEM) 为一系列需要亚埃级极高分辨率的应用提供了完全一体化和自动化的操作系统。 Titan G2 S/TEM 产品系列是世界上性能最强大的商业应用型 S/TEM, 它包括Titan™ G2 60-300, Titan3™ G2 60-300, Titan™ Krios, 和Titan™ ETEM。

FEI TEM 产品概览

TEM 仪器

• Titan™ TEM
• Tecnai™ TEM

DualBeam 仪器

 FEI 的 双束 (DualBeam (FIB/SEM)) 仪器是三维显微学和材料表征分析、工业故障分析以及工艺控制应用的首选解决方案。 Helios NanoLab™ 50 系列双束(DualBeam) 仪器结合了最先进的扫描电子显微镜 (SEM) 和具有创新气体化学方法、探测器和操纵器的聚焦离子束 (FIB) 技术。

FEI DualBeam 仪器概览

DualBeam 仪器

• Helios NanoLab DualBeam
• Quanta 3D DualBeam
• Versa 3D DualBeam

FIB 仪器

 FEI 的 双束 (DualBeam (FIB/SEM)) 仪器是三维显微学和材料表征分析、工业故障分析以及工艺控制应用的首选解决方案。 Helios NanoLab™ 50 系列双束(DualBeam) 仪器结合了最先进的扫描电子显微镜 (SEM) 和具有创新气体化学方法、探测器和操纵器的聚焦离子束 (FIB) 技术。

FEI 聚焦离子束仪器概览

• V400 ACE FIB
• V600 FIB
• Vion Plasma FIB

专业产品

FEI 为材料科学、生命科学、电子和自然资源领域的应用创建定制解决方案、定制仪器和行业顶级的软件程序包。

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